高純氣體雜質(zhì)分析儀

高純氣體雜質(zhì)分析儀介紹:

脈沖放電氦離子檢測器(PDD)是一款具有超高靈敏度的檢測器，其檢測限比 傳統(tǒng)的 FID 檢測器高一個(gè)數(shù)量級，而且，該檢測器是一款通用性的檢測器，對 所有的物質(zhì)均具有較高的靈敏度，因此，該檢測器常用于高純氣體的分析，其檢 測限能達(dá)到 PPB 級別。

氧化鋯檢測器是一個(gè)選擇性的檢測器，主要能檢測樣品中具有氧化還原的物 質(zhì)，比如O2等。在高純氬中，由于大量的氬氣導(dǎo)致O2和氬氣不能分離，因而用 PDD檢測器很難對O2進(jìn)行檢測，但可以通過選擇性的氧化鋯檢測器進(jìn)行檢測。

本方案中，我們通過一套多閥系統(tǒng)對高純氣體進(jìn)樣進(jìn)樣操作，并通過中心切 割，反吹等閥切換技術(shù)，完成高純氬，高純氮等高純氣體的分析。

本系統(tǒng)中，所有的閥的切換均通過程序設(shè)置切換時(shí)間，有儀器自動控制，具 體的分析氣路圖請咨詢相關(guān)銷售人員。

高純氣體雜質(zhì)分析儀圖解:

                  圖為：高純氮中雜質(zhì)分析色譜圖

圖為：高純氬中氣體雜 PDD 分析色譜圖